氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測量和操縱不因溫度或負載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對大部分流量控制系統來(lái)講,難以防止系統的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉變。針對一般的流量計,工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略。
(2) 測量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以規范電子信號輸出。那樣非常容易實(shí)現對流量的數據顯示﹑積累流量﹑數據信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對質(zhì)量流量控制器來(lái)講,還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統。通常, 模擬的MFC/MFM數據信號為0~ 5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數據串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開(kāi)展自動(dòng)控制系統。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對許多加工工藝全過(guò)程的流量操縱﹑針對不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應用領(lǐng)域寬 有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷有沒(méi)有氣體通過(guò)?
可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端,然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里,如果軟管口有氣泡冒出,證明MFC是有氣體通過(guò)的,不過(guò)需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內,也可以用手將出氣口堵死,觀(guān)察瞬時(shí)流量是否有下降,如果有下降,也證明有氣體通過(guò),此時(shí)堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎?
不可以的,一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥,雖然可以起到一定的流量調節作用,但無(wú)法做到準確,穩定的流量控制,而氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流,是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制,并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號,比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。